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產品名稱: 半導體光學鍍膜設備氦檢漏儀維修
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更新時間: 2020-12-09
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產品介紹

品牌其他品牌產地類別進口
應用領域醫療衛生,化工,石油,能源,電子

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氦質譜檢漏儀故障處理:分子泵不工作

(1)儀器界麵上TMP(分子泵的運轉頻率)顯示“0”即分子泵沒有工作。有可能是前級壓力過高(該分子泵的啟動壓力為200Pa)導致分子泵無法啟動。

檢查導致壓力過高的項目有:真空規管是否有問題,分子泵出口是否打開,機械泵油是否太髒或機械泵是否轉動,係統是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉子被損害,可自行用工具撥動葉片,判斷其能否轉動。(2)分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲燒斷,更換保險絲或檢查是否有短路現象。

(3)分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關是否處於R位置,此時應該在N位置。檢查風扇是否停止,如風扇正常,則可能為分子泵電源故障,請與廠家聯係。

質譜室無法正常啟動

燈絲無法正常啟動,在確認機械泵、分子泵處於正常工作狀態後,若燈絲仍無法發射離子流,則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍,檢查離子源航空插座與接線柱是否開路,若開路,需要更換燈絲,若不開路,檢查其接線柱與其他接頭是否導通,消除短路現象。

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