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產品名稱: IH6001515hh海外免费视频螺杆泵維修
簡要描述: IH6001515hh海外免费视1515频螺杆泵維修,半導體真空泵維修保養。GV係列幹泵維修,EH係列羅茨泵維修GVS係列螺杆泵維修
更新時間: 2020-12-09
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產品介紹

品牌其他品牌供貨周期一周
應用領域醫療衛生,化工,石油,能源,電子

 

湖北武漢IH6001515hh永久免免费螺杆泵維修,半導體真空泵維修保養。Edwards IH600係列幹泵在極端環境(顆粒,腐蝕物)下有著高可靠性,例如PECVD,LPCVD中。IH600工作在大氣壓和極限壓力之間,無需潤滑,這樣就確保了油不會被反抽到係統中。IH600係統有一個HCDP80幹泵;HCMB-600幹泵。IH600係統適用於無風冷電機的潔淨環境中。IH600幹泵係統還擁有運送清潔氣體進入HCDP泵的氣體係統,適用於製程物嚴重的工藝中。使用在較低要求的工藝下可共同改變氣體排放模式改變N2消耗量。通過顯示終端可手動控製真空係統。另外,可以通過接口模塊或即時通訊模塊或IH單設備監控器使用其他控製設備去操作IH幹泵係統。 半導體晶圓廠的應用包括: LOADLOC 傳送 測量 光刻 物理氣相沉積工藝 物理氣相沉積預清潔 快速熱退火 去膠 蝕刻 高密度等離子化學氣相沉積 高密度等離子體化學氣相沉積快速熱處理 大氣化學氣相沉積sacvd 鎢化學氣相沉積

等離子體增強化學氣相沉積 低壓化學氣相澱積。

規格參數:

Edwards  IH600

項     目 參     數

Inlet Connection ISO 100

Outlet Connection NW40

Peak Speed 518 m3h1

8635 1min-1

305 CFM

Ultimate Vacuum 2 x 10-3 mbar

1.5 x 10-3 Torr

Power bbbbb at vacuum 3.1 kW

Rated Motor Power 5.1 kW

Weight 913 kg/lbs.

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