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HANBELL漢鍾螺杆泵維修型號：

PDR係列包括機型漢鍾真空泵PDR100，漢鍾真空泵PDR602，漢鍾真空泵PDR1202漢鍾幹式真空泵PS係列包括機型 漢鍾真空泵PS80，漢鍾真空泵PS160，漢鍾真空泵PS180，漢鍾真空泵PS602，漢鍾真空泵PS902,漢鍾真空泵PS1202台灣漢鍾真空泵.PS係列產品特點

HANBELL漢鍾螺杆泵維修優點：

螺旋真空泵浦產品特色漢鍾精機PS係列幹式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑，因而無油氣回漏汙染的問題。PS902漢鍾螺杆真空泵維修後透過轉子線形良好的密封效果，壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由於排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表麵披覆特殊材質的鍍膜，因此可適用於PECVD、Etching等嚴苛製程。 泵浦溫度控製標準。漢鍾精機PS係列幹式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計，同時改善殼體的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更標準地控製泵浦內部溫度，減少沉積物的產生，增加真空泵浦的壽命。

HANBELL漢鍾螺杆泵維修後測試密封馬達安全性高，PS係列真空泵浦亦全麵采用設計的水冷罐裝密封馬達，除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外，也可完全避免製程氣體外漏的風險。微電腦控製保護周全 PS係列真空泵浦亦可配備微電腦控製器，可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保護，十分適用於光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。

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