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普旭爪式泵都有哪些特點呢?你可知道?

時間:2020-06-17 瀏覽次數:240

       普旭爪式泵廣泛應用於航空航天、石油、化工、煉化、電子、製藥、冶金、核能源、油氣回收、特殊氣體製造等行業,適用於真空蒸餾、分子蒸餾、真空鍍膜、抽提、重整、無泄漏氣體傳輸、真空製備材料等工藝,在普通大氣、富含水蒸氣、酒精、汽油、粉塵等特殊應用環境都可工作。
  普旭爪式泵是為半導體工業發展而研製的,它有如下特點:
  1)泵腔內無潤滑劑,因而無返油現象發生。
  2)抽氣元件為非接觸式的可實現高速運轉(3000r/min)。
  3)與泵抽氣體接觸的表麵防腐蝕耐磨損。
  4)在泵腔內氣流垂直運動,少量的顆粒物和液體等在重力作用下易於排除。
  5)該泵型式多樣,功能可以擴展,泵的主體,帶有齒輪、馬達以及氣體淨化設備,附件有入口處防返流的閥門,出口處有截流閥,電氣監控及報警裝置。
  6)齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑,上端蓋內德軸承用PFPE油脂潤滑。
  7)第二、三、四級均有淨化入口,以改善被抽介質順利通過泵腔,無此需要的可以不用通淨化氣體,淨化氣體用三個流量計分別調節,相互都是獨立的,以保證節約惰性氣體,利用三個電磁閥可微調其流量。
  8)入口防返流閥能將被抽容器與泵腔隔斷,出口處截流閥能將泵的出口封閉起來,將泵通以淨化氣體,這些閥可自動開關,真空係統有可靠得保護,杜絕了向真空室的返流。
  9)電氣監控與操作,主要有電源,遠距離操作和開關閥等的控製。
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