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厲害了,氦檢漏儀是真空檢漏的好幫手

時間:2020-02-21 瀏覽次數:173

真空係統的泄漏難以避免。因此為保證係統穩定,保證真空係統的泄漏要在一定的允許範圍內,就要對其進行氣密性檢漏。  
氦檢漏儀作為一種磁偏轉型質譜分析儀器,結構上分單級磁偏轉型和雙級串聯偏轉性,具體的結構原理。而在結構組成上,大部分氦檢漏儀就是由質譜室、真空係統以及電氣係統3部分組成的:質譜室是這種真空檢漏儀器的心髒,又包括離子源、分析器、收集器、前級放大器、冷陰極電離真空計等組成部分;真空係統用於為質譜室提供真空工作條件,保證氦離子的傳輸率;電氣係統的核心功能就是為質譜室供電與測量。另外在有些條件下,氦質譜檢漏可能還會需要輔助真空係統,完成一些預抽、保證檢漏儀真空度等工作。  
氦檢漏儀是采集被檢件中的氣體將其電離,根據不同種類氣體離子質荷比不同的特點,利用磁偏轉分離原理將其區分開。儀器隻對示漏氣體氦氣有相應信號,而對其他氣體沒有反應,屬於單一檢漏儀器。檢漏過程中,一旦出現信號,就說明有氦氣通過漏孔進入被檢件,從而指示漏率大小。之所以選擇氦氣作為示漏氣體,主要是因為氦質量輕,易於穿過漏孔,擴散快,對分析設備製造的要求相對簡單;同時氦氣在空氣中含量少,本底信號小,又為惰性氣體,不易發生反應等,都為提高儀器靈敏度創造了條件。  
氦檢漏儀有漏率靈敏度參數,它是儀器在出廠時經過校準的在較佳條件下所能實現的儀器靈敏度,稱之為檢漏靈敏度。然後在具體檢漏過程中,氦檢漏儀的檢漏方法也較多,有正壓法、負壓法、氦罩法、真空箱法、背壓法等眾多形式,可結合實際情況靈活運用。
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